2.2.2 Дослідження стехіометрії та елементного складу плівок

 

 

Дослідження елементного складу плівок CdTe та Cd1-xMnxTe проводилося з використанням сканувального електронного мікроскопа РЕММА-103-01 методом рентгенівського спектрального мікроаналізу (ЕDAX). Визначення  концентрації матеріалу при цьому проводилися не менше ніж у п’яти точках на поверхні зразка з подальшим усередненням результатів. Для переходу від масової концентрації до атомної використовувалося наступне співвідношення [26]:

 

,

 

де  - атомна вага -го елементу (= 54,938; = 112,41; ATe =127,60); - атомні та масові концентрації -го елементу.

Для оцінювання відхилення складу плівок від стехіометрії використовувалося відношення СА/CВ.

            Дослідження зразків проводилося також на мікроаналітичному прискорювальному комплексі інституту Прикладної фізики (м. Суми) на основі компактного електростатичного прискорювача «Сокіл» з енергією пучка протонів до 2 МеВ. Цей комплекс оснащений аналітичними каналами аналізу ядерних реакцій, іонної люмінесценції, резерфордівського зворотного розсіювання (RBS) з магнітним спектрометром та ядерного скануючого мікрозонда з детекторами вторинної електронної емісії, напівпровідниковим детектором характеристичного рентгенівського випромінювання і детектором заряджених частинок.

            Для визначення складу плівок використовувалося рентгенівське характеристичне випромінювання індуковане протонним пучком (μ‑PIXE) [27]. Розмір сфокусованого пучка протонів у каналі мікрозонду складав 2 мкм при струмі 100 пА. Камера взаємодії пучка з мішенню була обладнана двохкоординатним гоніометром, що дозволяло переміщувати мішень з кроком 1 мкм по горизонталі та 5 мкм по вертикалі. Для спостереження за положенням та розміром пучка при юстуванні зондувальної системи і фокусуванні пучка використовувалася відеокамера з макрооб’єктивом. Це давало можливість направляти пучок протонів на вибрану область з високою точністю (~ 2 мкм).